张家港东方四通科技有限公司

该系列电源是我厂为真空直流磁控溅射镀膜设备而开发的新一代溅射电源。 该产品具有以下特点： 1、设定好溅射电流后该电流能自动进入辉光放电区，并能很好维持恒定的溅射电源。 2、在工作过程中采用快速限流的方式自动灭弧，并能自动起辉。 3、在工作过程中能自动判断电源的各种工况，包括短路、弧光短路、异常辉光放电等，采用双闭环调节电路，既能保证稳态时恒流的精度，又能保证电源在动态时的快速响应特性。 （容量10KVA-500KVA，直流电压300V-1000V用户确定）